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标题
Spectral interference ellipsometry for film thickness measurement on transparent substrate
光谱干涉椭偏法测量透明衬底薄膜厚度
相关领域
材料科学 椭圆偏振法 干扰（通信） 基质（水族馆） 光学 反射率 光电子学 计算机科学 薄膜 电信 纳米技术 地质学 物理 频道（广播） 海洋学
网址
https://doi.org/10.1016/j.optlaseng.2023.107819
DOI
10.1016/j.optlaseng.2023.107819 doi
其它 期刊：Optics and Lasers in Engineering
作者：Jinxu Zhang; Liheng Shi; Ruixue Zhang; Jiayang Chen; Guanhao Wu
出版日期：2023-12-01
求助人
kjwu 在 2025-12-04 14:30:30 发布自上海，悬赏 10 积分
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