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Estimation of performance degradation due to interface traps in the gate and spacer stack of NC-FinFET
NC-FinFET栅极和间隔层堆叠中界面陷阱引起的性能退化估计
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网址
DOI
10.1088/1361-6641/acb8d3 doi
其它 期刊:Semiconductor Science and Technology
作者:Vibhuti Chauhan; Dip Prakash Samajdar
出版日期:2023-02-03
求助人
strive 在 2025-12-09 11:32:28 发布自海南,悬赏 10 积分
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