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 A survey on the mechanical design for piezo-actuated compliant micro-positioning stages 相关领域
顺应机制
执行机构
计算机科学
航空航天
自动化
机械工程
钥匙（锁）
精密工程
润滑
机器人学
光学（聚焦）
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机器人
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纳米技术
航空航天工程
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小型化
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光学
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期刊：Review of Scientific Instruments 作者：Bingxiao Ding; Xuan Li; Chenglin Li; Yangmin Li; Shih‐Chi Chen 出版日期：2023-10-01 |
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