Influences of different oxidants on the characteristics of HfAlOxfilms deposited by atomic layer deposition - 科研通

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标题	Influences of different oxidants on the characteristics of HfAlOxfilms deposited by atomic layer deposition
网址	https://doi.org/10.1088/1674-1056/22/2/027702
DOI	10.1088/1674-1056/22/2/027702 doi
其它	期刊：Chinese Physics B 作者：Ji-Bin Fan; Hong-Xia Liu; Fei Ma; Qing-Qing Zhuo; Yue Hao 出版日期：2013
求助人	淡定星星在 2026-04-17 19:10:17 发布自福建，悬赏 10 积分
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