Cooperative control of high aspect ratio anisotropic dry etching and composition for Bi2Te2.7Se0.3 thermoelectric film

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标题	Cooperative control of high aspect ratio anisotropic dry etching and composition for Bi2Te2.7Se0.3 thermoelectric film 相关领域热电效应材料科学反应离子刻蚀蚀刻（微加工）干法蚀刻光电子学热电材料纳米技术热电发电机各向异性热电堆各向同性腐蚀复合材料塞贝克系数热电冷却平版印刷术小型化 Crystal（编程语言）薄膜
网址	https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2026.186411
DOI	10.1016/j.jallcom.2026.186411 doi
其它	期刊：Journal of Alloys and Compounds 作者：Erbiao Min; Yixuan Shi; Shuai Zhou; Jianghe Feng; Juan Li; et al 出版日期：2026-01-26
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