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标题
Design of a high-numerical-aperture extreme ultraviolet lithography illumination system
网址
https://doi.org/10.1364/ao.57.005673
DOI
10.1364/ao.57.005673 doi
其它 期刊：Appl Opt
作者：Jiang J, Li Y, Shen S, Mao S
出版日期：2018-07-01
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