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 Sputter Deposition of AlN and AlScN Films for Actuator, Transducer and Energy Harvesting Applications 相关领域
传感器
溅射
材料科学
执行机构
能量收集
沉积（地质）
溅射沉积
光电子学
能量（信号处理）
声学
薄膜
电气工程
纳米技术
工程类
物理
古生物学
生物
量子力学
沉积物
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10.14332/svc18.proc.0039
doi
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(2025-6-4)
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