Carbon Nanotube Vias Fabricated by Remote Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition

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标题	Carbon Nanotube Vias Fabricated by Remote Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.1143/JJAP.47.2024/pdf
DOI	10.1143/jjap.47.2024 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：M. Katagiri; N. Sakuma; Mariko Suzuki; T. Sakai; Shintaro Sato; et al 出版日期：2007-09-19
求助人	xj 在 2026-10-10 11:18:22 发布自四川，悬赏 10 积分
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