Impact of deposition temperature on crystalline quality, oxygen vacancy, defect modulations and hetero-interfacial properties of RF sputtered deposited Ga2O3 thin films on Si substrate

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标题	Impact of deposition temperature on crystalline quality, oxygen vacancy, defect modulations and hetero-interfacial properties of RF sputtered deposited Ga2O3 thin films on Si substrate
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6463/ac9b69
DOI	10.1088/1361-6463/ac9b69 doi
其它	期刊：Journal of Physics D 作者：Rajib Saha; Sangita Bhowmick; Madhuri Mishra; Ankita Sengupta; Sanatan Chattopadhyay; et al 出版日期：2022-10-19
求助人	小刘在 2026-10-11 15:54:39 发布自上海，悬赏 10 积分
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