Study of the Multilayer Growth of Polysilicon Layers for Controlling the Deformation of Silicon Structures in the Chemical Vapor Transport Technology

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标题	Study of the Multilayer Growth of Polysilicon Layers for Controlling the Deformation of Silicon Structures in the Chemical Vapor Transport Technology 化学气相传输技术中控制硅结构变形的多晶硅层多层生长研究
网址	https://doi.org/10.1134/S1063782625700022
DOI	10.1134/S1063782625700022 doi
其它	期刊：Semiconductors 作者：D. V. Tarasov; E. M. Sokolov; S. A. Gavrilov 出版日期：2025
求助人	脑洞疼在 2025-08-29 17:25:35 发布，悬赏 10 积分
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