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标题
Silicone engineered anisotropic lithography for ultrahigh-density OLEDs
用于超高密度OLED的硅工程各向异性光刻
相关领域
材料科学 光刻 有机发光二极管 光电子学 平版印刷术 蚀刻（微加工） 反应离子刻蚀 纳米技术 硅 图层（电子）
网址
https://www.nature.com/articles/s41467-022-34531-y.pdf
AI链接 nature.com nature.com doaj.org nih.gov nih.govdoi.org
DOI
10.1038/s41467-022-34531-y doi
其它 期刊：Nature Communications
作者：Hyukmin Kweon; Keun‐Yeong Choi; Han Wool Park; Ryungyu Lee; Ukjin Jeong; et al
出版日期：2022-12-12
求助人
Owen 在 2025-07-30 05:56:53 发布，悬赏 10 积分
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