Monolithic optical microlithography of high-density elastic circuits

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标题	Monolithic optical microlithography of high-density elastic circuits 高密度弹性电路的单片光学微光刻相关领域材料科学晶体管光电子学光刻纳米技术数码产品千分尺电子线路灵活性（工程）聚合物硅光子学制作光学平版印刷术电气工程复合材料工程类物理病理电压统计医学数学替代医学
网址	https://doi.org/10.1126/science.abh3551
DOI	10.1126/science.abh3551 doi
其它	期刊：Science 作者：Yu‐Qing Zheng; Yuxin Liu; Donglai Zhong; Shayla Nikzad; Shuhan Liu; et al 出版日期：2021-07-01
求助人	zwf123 在 2025-08-18 10:36:31 发布自安徽，悬赏 10 积分
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