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 Analysis of mechanically induced subsurface damage and its removal by chemical mechanical polishing for gallium nitride substrate 氮化镓衬底机械致亚表面损伤分析及化学机械抛光去除
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期刊：Precision Engineering 作者：Hideo Aida; Hidetoshi Takeda; Toshiro Doi 出版日期：2020-10-31 |
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