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Effect of thermodynamic parameters on properties of silicon-carbon films prepared by radio-frequency plasma-enhanced chemical vapor deposition for anti-reflective and photo-luminescent coatings 相关领域
材料科学
硅烷
化学气相沉积
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者:William W. Hernández-Montero; Adrián Itzmoyotl-Toxqui; Carlos Zúňiga‐Islas 出版日期:2021-07-01 |
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