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 Structural design and experimental evaluation of a coarse–fine parallel dual-actuation XY flexure micropositioner with low interference behavior 一种具有低干扰行为的粗细并联双驱动XY柔性微定位器的结构设计与实验评价
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期刊：Review of Scientific Instruments 作者：Yunzhuang Chen; Leijie Lai; Limin Zhu 出版日期：2023-09-01 |
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