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Numerical simulation of the oxygen concentration distribution in silicon melt for different crystal lengths during Czochralski growth with a transverse magnetic field
横向磁场直拉生长过程中不同晶体长度硅熔体中氧浓度分布的数值模拟
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期刊:Journal of Crystal Growth 作者:Jyh Chen Chen; Pei Yi Chiang; Thi Hoai Thu Nguyen; Chieh Hu; Chun Hung Chen; et al 出版日期:2016-10-15 |
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