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Development of Highly Integrated Quartz Micro-Electro-Mechanical System Tilt Sensor
高集成度石英微机电系统倾斜传感器的研制
相关领域
材料科学
微电子机械系统
电容感应
薄脆饼
电容
表面微加工
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期刊:Japanese journal of applied physics 作者:Jinxing Liang; Fusao Kohsaka; Takahiro Matsuo; Xuefeng Liu; Ken Kunitomo; et al 出版日期:2009-06-01 |
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