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Low resistivity Ta textured film formed on TaN
在TaN上形成低电阻率Ta织构膜
相关领域
电阻率和电导率
四方晶系
溅射
材料科学
石英
外延
晶体生长
薄膜
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期刊:Thin Solid Films 作者:Jianyuan Wang; Jianfang Xu; Wei Huang; Jun Li; Shihao Huang; et al 出版日期:2018-07-01 |
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