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 Pattern Optimization for Phyllotactic Fixed Abrasive Pads Based on the Trajectory Method 基于轨迹法的叶状固着磨片图形优化
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期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 作者：Congfu Fang; Zaixing Zhao; Zhongwei Hu 出版日期：2016-12-07 |
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