Positive control of uniformity in ribbon beams for implantation of flat-panel displays

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标题	Positive control of uniformity in ribbon beams for implantation of flat-panel displays
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx5/6566/17540/00812126.pdf?...
DOI	10.1109/iit.1999.812126 doi
其它	期刊：1998 International Conference on Ion Implantation Technology. Proceedings (Cat. No.98EX144) 作者：N.R. White; S. Satoh; E.W. Bell; M. Sieradzki; C. Geary; et al 出版日期：2003-01-21
求助人	771657062 在 2026-03-02 17:32:35 发布自北京，悬赏 10 积分
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