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 Isolating the Role of Photoionization for Copolymer Present in Extreme Ultraviolet Photoresists by Gas Phase Electron–Ion Coincidence Experiments 用气相电子-离子符合实验分离极紫外光致抗蚀剂中共聚物光电离的作用
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期刊：ACS Applied Polymer Materials 作者：Faegheh S. Sajjadian; Valentin Laffert; D. P. Singh; Laura Galleni; Ivan Pollentier; et al 出版日期：2025-01-14 |
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