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 Surface Quality Improvement Mechanism of ICP Etching for Ga2O3 Schottky Barrier Diode 相关领域
肖特基势垒
材料科学
蚀刻（微加工）
光电子学
肖特基二极管
机制（生物学）
二极管
质量（理念）
纳米技术
物理
图层（电子）
量子力学
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| 其它 |
期刊：Micro and nanostructures 作者：Yicong Deng; Desen Chen; Titao Li; Min Zhu; Xiaorui Xu; et al 出版日期：2025-01-10 |
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