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A MEMS Thermopile Pirani Sensor Integrated With Composite Nanoforests for Vacuum Monitoring in Semiconductor Equipment
相关领域
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网址
https://doi.org/10.1109/ted.2023.3306318
DOI
10.1109/ted.2023.3306318 doi
其它 期刊：IEEE Transactions on Electron Devices
作者：Shaohang Xu; Meng Shi; Ruoyang Huang; Chenchen Zhang; Shaojuan Li; et al
出版日期：2023-08-29
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anti-pua 在 2026-01-09 07:24:24 发布自河北，悬赏 10 积分
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