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  Sensitivity Enhancement of Tube-Integrated MEMS Flow Sensor Using Flexible Copper on Polyimide Substrate 相关领域
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期刊：Micromachines 作者：Tsuyoshi Tsukada; Ryusei Takigawa; Yoshihiro Hasegawa; Muhammad Salman Al Farisi; Mitsuhiro Shikida 出版日期：2022-12-24 |
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