Vertically grown metal nanosheets integrated with atomic-layer-deposited dielectrics for transistors with subnanometre capacitance-equivalent thicknesses

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标题	Vertically grown metal nanosheets integrated with atomic-layer-deposited dielectrics for transistors with subnanometre capacitance-equivalent thicknesses
网址	https://doi.org/10.1038/s41928-024-01202-3
DOI	10.1038/s41928-024-01202-3 doi
其它	期刊：Nature electronics 作者：Lei Zhang; Zhaochao Liu; Wei Ai; Jiabiao Chen; Zunxian Lv; et al 出版日期：2024-07-08
求助人	郭昊在 2026-07-22 20:28:01 发布自陕西，悬赏 10 积分
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International Society for Optics and Photonics (SPIE)

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