Two-dimensional displacement measurement based on two parallel gratings

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标题	Two-dimensional displacement measurement based on two parallel gratings
网址	https://pubs.aip.org/aip/rsi/article-pdf/doi/10.1063/1.50246...
DOI	10.1063/1.5024637 doi
其它	期刊：Review of Scientific Instruments 作者：Peipei Wei; Xi Lu; Decheng Qiao; Limin Zou; Xiangdong Huang; et al 出版日期：2018-06-01
求助人	阿宁在 2026-07-16 15:30:18 发布自河南，悬赏 10 积分
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