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标题
[高分] Exploring the limits of contact hole patterning with high-NA EUV lithography
网址
http://dx.doi.org/10.1117/12.3090509
DOI
10.1117/12.3090509 doi
其它 期刊：Advances in Patterning Materials and Processes XLIII
作者：Dario L. Goldfarb; Zheng Chen; Yasiel Cabrera; Karen Petrillo; Joe Lee; et al
出版日期：2026-04-09
求助人
Lizi 在 2026-07-08 16:57:17 发布自美国，悬赏 50 积分
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