Formation of Cu3Si and its catalytic effect on silicon oxidation at room temperature

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标题	Formation of Cu3Si and its catalytic effect on silicon oxidation at room temperature
网址	http://dx.doi.org/10.1116/1.577653
DOI	10.1116/1.577653 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 作者：L. Stolt; A. Charai; F. M. D’Heurle; P. M. Fryer; J. M. E. Harper 出版日期：1991-05-01
求助人	liuqx011 在 2026-08-09 23:23:12 发布自四川，悬赏 10 积分
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