Molybdenum Thin Film Formation from Molybdenum Nitride Deposited by Plasma-enhanced Atomic Layer Deposition with Hydrogen-permeable Mechanical Capping Layer

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标题	Molybdenum Thin Film Formation from Molybdenum Nitride Deposited by Plasma-enhanced Atomic Layer Deposition with Hydrogen-permeable Mechanical Capping Layer
网址	https://doi.org/10.1021/acsaelm.3c00711
DOI	10.1021/acsaelm.3c00711 doi
其它	期刊：ACS applied electronic materials 作者：Jeong Hyeon Park; Ye Won Kim; Myeong Ho Kim; Jinsik Kim; Woojin Jeon 出版日期：2023-07-27
求助人	找不到在 2026-09-06 15:59:36 发布自福建，悬赏 10 积分
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