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  CMOS AlN and ScAlN Pyroelectric Detectors with Optical Enhancement for Detection of CO2 and CH4 Gases 用于CO2和CH4气体检测的光学增强CMOS AlN和ScAlN热释电探测器
相关领域
材料科学
热电性
光电子学
CMOS芯片
探测器
氮化物
薄脆饼
纳米技术
光学
物理
图层（电子）
电介质
铁电性
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期刊：Advanced Electronic Materials 作者：Doris K. T. Ng; Linfang Xu; Yuan Hsing Fu; Weiguo Chen; Chong Pei Ho; et al 出版日期：2023-06-23 |
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