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 Line edge roughness (LER) reduction strategies for EUV self-aligned double patterning (SADP) EUV自对准双图案化（SADP）的线边缘粗糙度（LER）降低策略
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期刊： 作者：Eric Liu; Katie Lutker-Lee; Qiaowei Lou; Ya-Ming Chen; Angelique Raley; et al 出版日期：2021-04-09 |
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