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 Synthesis and characterization of FeSO4 microcapsules applied in chemical mechanical polishing of single crystal SiC wafers 用于单晶SiC晶片化学机械抛光的FeSO4微胶囊的合成与表征
相关领域
材料科学
抛光
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期刊：Surfaces and Interfaces 作者：Juze Xie; Yangting Ou; Jiawen Yao; Tianxin Luan; Tailiang Zhang; et al 出版日期：2025-07-01 |
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