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Synthesis and characterization of FeSO4 microcapsules applied in chemical mechanical polishing of single crystal SiC wafers

材料科学 抛光 薄脆饼 表征（材料科学） 单晶 化学机械平面化 复合材料 Crystal（编程语言） 化学工程 纳米技术 结晶学 化学 工程类 计算机科学 程序设计语言
作者
Juze Xie,Yangting Ou,Jiawen Yao,Tianxin Luan,Tailiang Zhang,Zhehan Li,Chufeng Sun,Jisheng Pan
出处
期刊：Surfaces and Interfaces [Elsevier BV]
日期：2025-07-01 卷期号：: 107305-107305
标识
DOI：10.1016/j.surfin.2025.107305
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