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 Multi-component nitride coatings derived from Ti–Al–Cr–Si–V target in RF magnetron sputter 相关领域
材料科学
氮化物
氮化铬
溅射
纳米压痕
无定形固体
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冶金
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薄膜
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化学
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期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Cheng-Han Lin; J.G. Duh; Jien‐Wei Yeh 出版日期：2007-01-19 |
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