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Multi-component nitride coatings derived from Ti–Al–Cr–Si–V target in RF magnetron sputter

材料科学氮化物氮化铬溅射纳米压痕无定形固体溅射沉积电子探针压痕硬度冶金氮化锆薄膜氮化钛复合材料图层（电子）结晶学纳米技术微观结构化学

作者

Cheng-Han Lin,J.G. Duh,Jien‐Wei Yeh

出处

期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：2007-01-19 卷期号：201 (14): 6304-6308 被引量：116

标识

DOI：10.1016/j.surfcoat.2006.11.041

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