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 A novel separate-precursor-pulse PECVD SiOx as interfacial oxide for polysilicon passivating contacts applied to industrial high efficiency silicon solar cells 相关领域
薄脆饼
材料科学
等离子体增强化学气相沉积
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氧化物薄膜晶体管
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晶体硅
纳米技术
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10.2139/ssrn.5934624
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