微波等离子体化学气相沉积谐振腔的数值仿真与研究

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标题	微波等离子体化学气相沉积谐振腔的数值仿真与研究
网址	http://dx.doi.org/10.27075/d.cnki.ghzdc.2022.000110
DOI	10.27075/d.cnki.ghzdc.2022.000110 doi
求助人	hy 在 2026-04-30 10:10:24 发布自江苏，悬赏 10 积分
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