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 Transition From MEMS Technology to Nanofabrication 从MEMS技术到纳米制造的过渡
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期刊：First International Conference on Integration and Commercialization of Micro and Nanosystems, Parts A and B 作者：T. Glinsner; Paul Lindner; Paul Kettner; H. Kirchberger 出版日期：2007-01-01 |
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