Effects of Ti Target Purity and Microstructure on Deposition Rate, Microstructure and Properties of Ti Films

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标题	Effects of Ti Target Purity and Microstructure on Deposition Rate, Microstructure and Properties of Ti Films 钛靶纯度和组织对钛薄膜沉积速率、组织和性能的影响相关领域微观结构材料科学衍射仪表面粗糙度等轴晶扫描电子显微镜场发射显微术沉积（地质）溅射沉积冶金钛电阻率和电导率复合材料溅射分析化学（期刊）薄膜纳米技术光学衍射化学色谱法电气工程工程类古生物学物理沉积物生物
网址	https://www.mdpi.com/1996-1944/15/7/2661/pdf?version=1649145...
DOI	10.3390/ma15072661 doi
其它	期刊：Materials 作者：Liming Liu; Wuhui Li; Haoliang Sun; Guangxin Wang 出版日期：2022-04-05
求助人	科研渣渣在 2025-06-11 10:08:43 发布，悬赏 10 积分
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