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 Effects of Work Function and Thermal Stability of Top Electrode Materials on Electrical Properties of ZrO2-Based DRAM Capacitors 顶部电极材料功函数和热稳定性对ZrO2基DRAM电容器电性能的影响
相关领域
德拉姆
材料科学
电容器
热稳定性
电极
工作职能
工作（物理）
热的
复合材料
光电子学
工程物理
电气工程
机械工程
化学工程
电压
热力学
工程类
化学
物理
物理化学
图层（电子）
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期刊：Electronic Materials Letters 作者：Hyeongjun Kim; Kyungmin Choi; Hojin Lee; Woongkyu Lee 出版日期：2025-05-08 |
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