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标题
Novel Borderless Metal Contact Process Using a Self-Stopping Layer for a 4Gb DRAM and beyond
网址
https://doi.org/10.3938/jkps.40.624
DOI
10.3938/jkps.40.624 doi
其它 期刊：Journal of the Korean Physical Society
作者：Chun Yoonsoo; Park J. S.; Jang S. M.; Park S. G.; Hwang Y. S.; et al
出版日期：2002
求助人
慕夏 在 2025-10-30 18:53:59 发布自上海，悬赏 10 积分
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