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 SiNx double layer antireflection coating by plasma-enhanced chemical vapor deposition for single crystalline silicon solar cells (Special issue: Dry process) 用于单晶硅太阳能电池的等离子体增强化学气相沉积SiNx双层减反射涂层（特刊：干法）
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Dae-Yeong Gong; Youn-Jung Lee; Minkyu Ju 出版日期：2011-08-01 |
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