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标题
Resistless EUV lithography: Photon-induced oxide patterning on silicon
无抗蚀剂EUV光刻：硅上的光子诱导氧化物图案化
相关领域
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网址
https://doi.org/10.1126/sciadv.adf5997
AI链接 doi.org arxiv.org arxiv.org handle.net ethz.ch ac.uk ac.uk ac.uk lib4ri.ch lib4ri.ch nih.gov nih.gov datacite.orgdoi.org
DOI
10.1126/sciadv.adf5997 doi
其它 期刊：Science Advances
作者：Li‐Ting Tseng; Prajith Karadan; Dimitrios Kazazis; Procopios Constantinou; Taylor J. Z. Stock; et al
出版日期：2023-04-19
求助人
zyc 在 2025-08-30 19:03:08 发布，悬赏 10 积分
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