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 Close-packed silicon field emitter arrays with integrated anode fabricated by electron-beam lithography 电子束光刻制备具有集成阳极的密排硅场发射极阵列
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Shabnam Ghotbi; Saeed Mohammadi 出版日期：2022-12-19 |
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