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The effect of DRIE notching on field emission enhanced breakdown in SOI based MEMS electrodes
DRIE刻槽对SOI基MEMS电极场发射增强击穿的影响
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网址
https://doi.org/10.1088/1361-6439/acba28
DOI
10.1088/1361-6439/acba28 doi
其它 期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering
作者：Xuan Zhang; Dayong Qiao; Yao Zhu
出版日期：2023-02-08
求助人
punctuation 在 2025-08-28 19:38:37 发布，悬赏 10 积分
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