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 The effect of DRIE notching on field emission enhanced breakdown in SOI based MEMS electrodes DRIE刻槽对SOI基MEMS电极场发射增强击穿的影响
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期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Xuan Zhang; Dayong Qiao; Yao Zhu 出版日期：2023-02-08 |
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