Electron beam mask writer EBM-9500 for logic 7nm node generation

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标题	Electron beam mask writer EBM-9500 for logic 7nm node generation 电子束掩模写入器EBM-9500，用于逻辑7纳米节点生成相关领域计算机科学逻辑门节点（物理）梁（结构）阴极射线光电子学光学电子算法物理量子力学
网址	https://doi.org/10.1117/12.2242987
DOI	10.1117/12.2242987 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Hideki Matsui; Takashi Kamikubo; Satoshi Nakahashi; Haruyuki Nomura; Noriaki Nakayamada; et al 出版日期：2016-10-05
求助人	as9988776654 在 2025-09-18 16:51:10 发布自山东，悬赏 20 积分
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