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 Polarization-independent waveguide grating coupler using an optimized polysilicon overlay 使用优化的多硅覆盖层的与极化无关的光耦合器
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期刊：Optics Letters 作者：Xuetong Zhou; Gaolei Hu; Yue Qin; Hon Ki Tsang 出版日期：2022-10-19 |
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