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Low-energy O+ ion beam induced chemical vapor deposition using tetraethyl orthosilicate for silicon dioxide film formation
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网址
https://doi.org/10.1016/j.nimb.2021.11.022
DOI
10.1016/j.nimb.2021.11.022 doi
其它 期刊：Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B Beam Interactions with Materials and Atoms
作者：Satoru Yoshimura; Satoshi Sugimoto; Takae Takeuchi; Kensuke Murai; Masato Kiuchi
出版日期：2021-12-04
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称心的沛槐 在 2025-10-28 18:01:07 发布自重庆，悬赏 10 积分
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