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Low-energy O+ ion beam induced chemical vapor deposition using tetraethyl orthosilicate for silicon dioxide film formation

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作者
Satoru Yoshimura,Satoshi Sugimoto,Takae Takeuchi,Kensuke Murai,Masato Kiuchi
出处
期刊：Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-beam Interactions With Materials and Atoms [Elsevier BV]
日期：2021-12-04 卷期号：511: 113-117 被引量：7
标识
DOI：10.1016/j.nimb.2021.11.022
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