| 标题 |
 An Optimization Study of EUV Sources Driven by CO2 and Thulium Lasers CO2和铥激光器驱动极紫外光源的优化研究
相关领域
铥
极紫外光刻
激光器
极端紫外线
光电子学
计算机科学
材料科学
光学
物理
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| 网址 |
AI链接 osti.gov |
| DOI |
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| 其它 |
期刊：OSTI OAI (U.S. Department of Energy Office of Scientific and Technical Information) 作者：S. H. Langer; H. A. Scott; C. W. Siders; Emily Sistrunk Link 出版日期：2019-06-06 |
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